水果臭氧消毒系统示意图

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低温原子层沉积中臭氧活性增强的多尺度机理解析 在低温原子层沉积中，臭氧的氧化活性呈现出反常的温度依赖性——其表面反应速率在80-150C区间内非降反升。这一

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