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04 .23.2026
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臭氧对不同材料体系的功函数影响差异
04 .02.2026
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臭氧处理影响金属栅极功函数的物理机制
03 .27.2026
臭氧处理影响金属栅极功函数的物理机制臭氧处理对金属栅极功函数的影响主要通过以下几种物理/化学机制实现:1. 界面氧掺入与偶极子形成金属栅极(如TiN)与高k介质