TITAN100高浓度臭氧发生器浓度测试现场
北京同林代理的Titan100高浓度臭氧发生器可用于ALD、CLD、药物合成等应用,为了保证浓度的稳定性,同林对其进行浓度测试。视频中将压力、气量、和功率调整完毕后,开始测试,浓度稳定在140mg/L左右,浓度波动在1mg/L内。