NANO15小型高浓度臭氧发生器集成现场

NANO15小型高浓度臭氧发生器集成现场

NANO15小型高浓度臭氧发生器，采用先进的风冷散热设计，结构紧凑、体积小巧，非常适合于空间受限的机柜内部集成安装。该发生器臭氧产量稳定在15g/h，可输出高达150mg/L的高浓度臭氧气体，能够满足多种严苛工艺需求。

在实际应用中，NANO15常与同林F800臭氧尾气分解器配套使用，组成完整的臭氧供应与处理系统。F800能够高效分解未反应的臭氧，确保尾气排放安全环保，特别适用于ALD原子层沉积等对臭氧浓度和稳定性要求高的半导体设备工艺。

同林不仅提供高品质的臭氧发生与分解设备，更致力于为客户提供全面的售后保障，包括技术支持、设备维护及配件供应，确保设备长期稳定运行，助力客户生产无忧。