臭氧对不同材料体系的功函数影响差异

臭氧对不同材料体系的功函数影响差异

一、工艺参数对功函数影响的敏感度

二、臭氧处理的效果高度依赖于以下工艺条件

1.臭氧浓度与气体配比：

通常采用O2/O3混合气体，臭氧浓度（如50~300 g/Nm³）越高，氧化势越强，功函数偏移越显著。

纯臭氧比臭氧/氧气混合物的氧化效率高数倍。

2.处理温度：

低温（RT~150°C）：臭氧主要作用于金属表面外层（<1nm），形成自限制性氧化层，功函数变化可控（通常<100mV）。

高温（>250°C）：氧原子向金属内部扩散，穿透晶界，导致体材料氧化，功函数变化大（>200mV）且均匀性变差。

3.处理时间与等离子体辅助：

热臭氧（Thermal O₃）通常为饱和反应，时间影响较小（几秒至几分钟）。

若采用远程等离子体臭氧（含氧自由基），反应活性剧增，对功函数的冲击更大，但均匀性更好。