Atlas H30 臭氧发生器到货通知
Atlas H30 臭氧发生器到货10台,近期将按照订单顺序发出,感谢支持和理解。
特点
ATLAS H30臭氧发生器是一款专为半导体和ALD(原子层沉积)应用设计的高效臭氧发生器。其主要特点包括:
高臭氧产量:仅需4 SLPM氧气即可产生30 g/h的臭氧,适合高浓度需求。
高臭氧浓度:臭氧浓度可达22 wt%(310 mg/L),满足半导体和ALD实验的高纯度要求。
低流量氧气需求:仅需4 SLPM氧气,节省气源成本。
耐压范围广:标准耐压15-35 PSI,可选高压15-85 PSI,适应多种实验条件。
模块化设计:支持台式或机架安装,可扩展至5 kg/h以上。
紧凑尺寸:体积小巧(35.5*38*17.8 cm),适合实验室空间有限的环境。
风冷设计:无需冷却水,在高温环境(+35℃)下也能稳定运行。
远程控制:支持远程臭氧输出控制,操作便捷。